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氧化钨薄膜生产方法(1)将粒径为100~500nmWO超细粉末倒入含有0.1~3wt%分散剂的水中,再研磨8~24h,形成浆料;(2)采用注浆成型的方式制备氧化钨靶材坯体,将坯体干燥后放置于冷等静压设备中,在120~300MPa的条...